เอกสารไวท์เปเปอร์เครื่องส่งสัญญาณซิลิคอนผลึกเดี่ยว (Single Crystal Silicon Transmitter Technical White Paper)
Opinion | Mar. 5th, 2025
Somchai (สมชาย)
Pressure Product Line Manager(ผู้จัดการสายผลิตภัณฑ์ความเครียด)
ในบริบทของอุตสาหกรรม 4.0 และการผลิตที่มีความแม่นยำสูง อุปกรณ์ส่งสัญญาณแรงดันแบบ MEMS ที่ใช้ซิลิคอนผลึกเดี่ยวเป็นวัสดุฐาน (Single Crystal Silicon Substrate) ได้กลายเป็นองค์ประกอบหลักในระบบการตรวจวัดและควบคุม โดยมีอัตราการใช้งานเชิงพาณิชย์เพิ่มขึ้น 12.7% ต่อปีในกลุ่มอุตสาหกรรมพลังงานและการแพทย์
คุณลักษณะทางเทคนิคหลัก
ความแม่นยำระดับไมครอนย่อย
ใช้แผ่นเซนเซอร์ซิลิคอนที่ผลิตด้วยกระบวนการ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ร่วมกับโครงสร้าง Wheatstone Bridge แบบเต็มวงจร ช่วยควบคุมค่าความผิดพลาดเชิงเส้นที่ ±0.05%FS สูงกว่าอุปกรณ์โพลีซิลิคอนแบบเดิมถึง 2 อันดับเสถียรภาพสภาพแวดล้อม
ผ่านการเคลือบชั้นป้องกัน SiO₂ และอัลกอริธึมชดเชยอุณหภูมิ ช่วงการทำงานขยายถึง -40 ถึง 150°C โดยมีค่าดริฟต์อุณหภูมิต่ำสุดที่ ±0.01%FS/°C ผ่านการทดสอบ MTBF 30,000 ชั่วโมงในโรงงานกลั่นน้ำมันการตอบสนองแบบไดนามิก
ใช้เทคโนโลยีการกัดกร่อนแบบ anisotropic สร้างโพรงเรโซแนนซ์ขนาดไมครอน ลดเวลาตอบสนองลงเหลือ 3ms เหมาะสำหรับการตรวจสอบความดันในห้องเผาไหม้ของกังหันก๊าซ (0-10MPa)ระบบจัดการพลังงาน
ผสานวงจร CMOS และโมดูลปรับกำลังงานแบบอัตโนมัติ บรรลุการบริโภคพลังงานที่ 1.8mW ในระบบลูปกระแส 4-20mA พร้อมรับการทำงานแบบ off-grid
แอปพลิเคชันอุตสาหกรรม
- อุตสาหกรรมกระบวนการ: ควบคุมความดันก๊าซครากในโรงงานผลิตเอทิลีน (±0.075%FS)
- ระบบสมาร์ทกริด: ตรวจสอบความหนาแน่นของ SF6 ใน GIS (ความละเอียด 0.1kPa)
- อุปกรณ์การแพทย์: ระบบเก็บข้อมูลความดันโลหิตแบบ invasive (อัตราสุ่มตัวอย่าง 1kHz)
- พลังงานใหม่: ตรวจสอบความดันภายในแบตเตอรี่ลิเธียม (เกณฑ์ป้องกันการระเบิด ±50Pa)
แนวโน้มการพัฒนา
กำลังมุ่งสู่ระบบอัจฉริยะด้วยเทคโนโลยีสารกึ่งตัวนำรุ่นที่สาม โดยมีคุณสมบัติหลัก:
- ระบบชดเชย hysteresis ด้วย AI
- เทคโนโลยี wafer-level packaging (WLP) ที่ลดขนาดลงเหลือ 5×5×2mm³
- การผสานโปรโตคอล IIoT เช่น IO-Link สำหรับการบำรุงรักษาเชิงพยากรณ์
Anwoll ก่อตั้งขึ้นที่เมืองฮูสตัน รัฐเท็กซัส ประเทศสหรัฐอเมริกา เรามีส่วนร่วมในงานวิจัยและพัฒนา (R&D) รวมถึงการผลิตผลิตภัณฑ์ส่งสัญญาณซิลิคอนแบบผลึกเดี่ยว (monocrystalline) ซึ่งสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของคุณ
หากคุณสนใจในผลิตภัณฑ์เครื่องส่งสัญญาณซิลิคอนแบบผลึกเดี่ยวของเรา หรือต้องการสอบถามข้อมูลเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา!
